国产划片机 2021-03-15
硅片切割一样平常有什么难点???????
1、杂质线痕:由多晶硅锭内杂质引起,,,,,,,,在切片历程中无法去除,,,,,,,,导致硅片上爆发相关线痕。。。。。
2、划伤线痕:由砂浆中的SIC大颗;;;蛏敖峥橐。。。。。切割历程中,,,,,,,,SIC颗粒“卡”在钢线与硅片之间,,,,,,,,无法溢出,,,,,,,,造成线痕。。。。。
体现形式:包括整条线痕和半截线痕,,,,,,,,内凹,,,,,,,,线痕发亮,,,,,,,,较其它线痕越发窄细。。。。。
3、密布线痕(麋集型线痕):由于砂浆的磨削能力不敷或者切片机砂浆回路系统问题,,,,,,,,造成硅片上泛起麋集线痕区域。。。。。
4、错位线痕:由于切片机液压夹紧装置外貌有砂浆等异物或者托板上有剩余胶水,,,,,,,,造成液压装置与托板不可夹紧,,,,,,,,以及托板螺丝松动,,,,,,,,而爆发的线痕。。。。。
在整个切割历程中,,,,,,,,对硅片的质量以及制品率起主要作用的是切割液的粘度、碳化硅微粉的粒型及粒度、砂浆的粘度、砂浆的流量、钢线的速率、钢线的张力以及工件的进给速率等。。。。。
线痕和TTV: 线痕和TTV是在硅片加工当中遇到的较量头疼的事,,,,,,,,时时时就会泛起一刀,,,,,,,,防不堪防。。。。。TTV是在入刀的时间泛起,,,,,,,,而线痕是在收线弓的时间容易泛起。。。。。


